| 发明名称 |
SYSTEM ZUM TRANSPORTIEREN UND BEHANDELN VON DUENNEN SUBSTRATEN WIE PLATTEN ODER WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3425267(A1) |
申请公布日期 |
1985.01.31 |
| 申请号 |
DE19843425267 |
申请日期 |
1984.07.10 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES,INC. |
发明人 |
REX BOYS,DONALD;EDGAR GRAVES JUN.,WALTER |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G49/07;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/67;(IPC1-7):B65G49/06;H01F41/18;H01L21/68;C23C15/00;C23C13/08 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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