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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SILICIUMDIOXIDBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3332995(A1) 申请公布日期 1985.01.24
申请号 DE19833332995 申请日期 1983.09.13
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO.LTD. 发明人 KAWAHARA,HIDEO;NAGAYAMA,HIROTSUGU;HONDA,HISAO
分类号 C03C17/25;(IPC1-7):B05D5/06;C04B41/06;C04B41/24;C23C11/08;C23C13/04;C03C17/09;H01L21/368;C30B19/12 主分类号 C03C17/25
代理机构 代理人
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