发明名称 SYMMETRICAL SOLE POINT DRIVE DEVICE OF INTEGRATED CIRCUIT TESTING DEVICE CONTACT
摘要
申请公布号 JPS59225541(A) 申请公布日期 1984.12.18
申请号 JP19840100737 申请日期 1984.05.21
申请人 DEIMAAKU CORP 发明人 NIKORASU JIEI SEDORON;KENESU AARU RII
分类号 G01R31/26;G01R1/04;H01L21/66;H01R13/193;H05K7/10;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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