| 摘要 |
Un système automatisé prélève un lot de microplaquettes semi-conductrices à partir d'un support pourvu de fentes (16), les transfère latéralement et les repose dans un deuxième support pourvu de fentes (29). Des mâchoires (78, 79) dans le dispositif de levage (30) s'ouvrent automatiquement pour recevoir ou libérer les plaquettes. Lors de l'utilisation d'un support possédant des côtés fendus relativement hauts, tels que les cassettes plastiques utilisées communément, un poussoir (32) s'engage dans les bords inférieurs des plaquettes exposés au travers du fond de la cassette et les poussent vers le haut suffisamment loin pour permettre aux mâchoires de levage (78, 79) de saisir et soulever les plaquettes. Le dispositif est orienté avec un faible angle pour assurer que les plaquettes soient toutes disposées suivant une relation précise d'écartement parallèle de manière à agir de concert avec les fentes (120) dans les mâchoires de levage (78, 79) et les fentes dans le support récepteur. Le système peut déplacer deux lots de 25 plaquettes dans une nacelle en quartz possédant 50 fentes présentant un écartement plus serré, et de manière analogue, deux lots peuvent être transférés d'une nacelle en quartz à deux différentes cassettes en plastique. |
