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发明名称 Apparatus for firing semiconductor elements
摘要
申请公布号 GB2139744(A) 申请公布日期 1984.11.14
申请号 GB19840010684 申请日期 1984.04.26
申请人 * NORTON COMPANY 发明人 SAMUEL H * COES
分类号 H01L21/673;C30B31/10;F27B17/00;H01L21/22;H01L21/677;(IPC1-7):F27D3/12;F27B5/12;H01L21/64 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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