Magnetic field sensor and position sensor incorporating a magnetic field sensor.

摘要

Es sind beriets Magnetfeldsensoren bekannt, die den "planaren Halleffekt" ausnutzen. Es wird nun vorgeschlagen, solche Magnetfeldsensoren unter Verwendung ferromagnetischer amorpher Metalle herzustellen. Amorphe Metalle aus Co75Fe5B20 oder CO80B20 sind hierfür besonders geeignet. Die Empfindlichkeit solcher Magnetfeldsensoren ist deutlich höher als bei herkömmlichen, meist unter Verwendung von Permalloy hergestellten Magnetfeldsensoren. Mit solchen besonders empfindlichen Magnetfeldsensoren ist es auch möglich, neuartige Positionssensoranordnungen aufzubauen. Beispiele hierfür sind angegeben.