发明名称 ANODIC OXIDATION AND ETCHING OF SEMICONDUCTOR MATERIAL TO FORM MESA STRUCTURES
摘要
申请公布号 GB2085654(B) 申请公布日期 1984.08.30
申请号 GB19800033486 申请日期 1980.10.16
申请人 STANDARD TELEPHONES & CABLES LTD 发明人
分类号 H01L21/3063;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/46 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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