发明名称 |
ANODIC OXIDATION AND ETCHING OF SEMICONDUCTOR MATERIAL TO FORM MESA STRUCTURES |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2085654(B) |
申请公布日期 |
1984.08.30 |
申请号 |
GB19800033486 |
申请日期 |
1980.10.16 |
申请人 |
STANDARD TELEPHONES & CABLES LTD |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/3063;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/46 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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