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发明名称 OPTICAL PREPARATION OF MOLYBDENUM SURFACES
摘要
申请公布号 GB8416974(D0) 申请公布日期 1984.08.08
申请号 GB19840016974 申请日期 1984.07.04
申请人 GENERAL ELECTRIC CO 发明人
分类号 G03C1/00;G03F7/00;G03F7/075;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/88 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
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