发明名称
摘要
申请公布号 JPS5996833(U) 申请公布日期 1984.06.30
申请号 JP19820191319U 申请日期 1982.12.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/66;H01L27/00;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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