发明名称 FORMATION OF DEPOSITED FILM BY PLASMA CVD
摘要
申请公布号 JPS59104468(A) 申请公布日期 1984.06.16
申请号 JP19820213436 申请日期 1982.12.07
申请人 CANON KK 发明人 SHIRAI SHIGERU
分类号 C23C16/24;C23C16/509;G03G5/08 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
地址