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发明名称 A PROCESS FOR FORMING MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0042894(B1) 申请公布日期 1984.05.02
申请号 EP19800302194 申请日期 1980.06.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ECONOMY, JAMES;LYERLA, JAMES RICHARD;PEDERSEN, LESTER ARLYN
分类号 G03F7/40;(IPC1-7):01L21/00;03F7/02;05K3/06 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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