发明名称 ELLIPSOMETRIC METHOD AND ELLIPSOMETRIC DEVICE FOR TESTING THE PHYSICAL PROPERTIES OF THE SURFACE OF A SAMPLE
摘要
申请公布号 EP0019088(B1) 申请公布日期 1984.03.28
申请号 EP19800101993 申请日期 1980.04.14
申请人 STENBERG, JOHAN EMANUEL, DR.-ING.;STIBLERT, LARS BERTIL;SANDSTROM, ERLAND TORBJORN 发明人 STENBERG, JOHAN EMANUEL, DR.-ING.
分类号 G01J4/00;G01B11/06;G01N21/21;(IPC1-7):01N21/21;01B11/06 主分类号 G01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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