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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5928370(A) 申请公布日期 1984.02.15
申请号 JP19820138210 申请日期 1982.08.09
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 SUGINO EITAROU;MORIKURI AKIRA
分类号 H01L21/60;H01L21/02;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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