发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM ERZEUGEN UND ANWENDEN EINER ZUSAMMENGESETZTEN PLASMA-KONFIGURATION
摘要
申请公布号 ATA900579(A) 申请公布日期 1984.02.15
申请号 AT19790009005 申请日期 1979.06.05
申请人 KOLOC PAUL M. 发明人 KOLOC PAUL M.
分类号 G21B1/00;G21D9/00;H01J7/24;(IPC1-7):21B1/02 主分类号 G21B1/00
代理机构 代理人
主权项
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