发明名称 HIGH RESOLUTION POSITION SENSING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8334582(D0) 申请公布日期 1984.02.01
申请号 GB19830034582 申请日期 1983.12.29
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC 发明人
分类号 G01B7/00;G01D5/22;(IPC1-7):G01D5/20 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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