| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERSTRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3317222(A1) |
申请公布日期 |
1983.11.24 |
| 申请号 |
DE19833317222 |
申请日期 |
1983.05.11 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD CO. |
发明人 |
YUH FANG,ROBERT CHING;CHIU,KUANG |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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