| 主权项 |
1.一种溅镀靶用之冷却式背板,其前侧上可施加待 溅镀的材料且其反侧上存在一种使背板冷却用的 元件,其特征为:背板(2,3,4)中至少一开口朝向背板 反侧的导槽(5)是在一冷却剂入口和一冷却剂出口 之间延伸,该导槽(5)由背板(2,3,4)之外框(6)所围绕 且该框(6)之内部中延伸着至少一远离该框之条片( 7),该条片使该导槽之二个部份互相分开,且该导槽 (5)之开口侧藉由一种密封扁环(9)来密封以形成一 种横切面完整的冷却通道,该密封扁环(9)是与该框 (6)和该条片(7)相焊接。 2.如申请专利范围第1项之背板,其中该框(6)之内边 缘设有一种环形之区段(8)以容纳该密封扁环(9),该 区段(8)之高度等于该密封扁环(9)之厚度,使紧靠在 该区段(8)上的密封扁环(9)可与该框(6)之未分段的 部份相齐平。 3.如申请专利范围第1项之背板,其中该框(6)中存在 着至少二个开口朝向反侧的袋口(10),其由该密封 扁环(9)所覆盖,其中在密封扁环(9)中存在着多个位 于袋口上之孔(12)以使冷却剂流入或流出。 4.如申请专利范围第3项之背板,其中各袋口(10)形 成在该框(8)之未分段的部份中且该密封扁环(9)具 有耳件(11),其位于袋口(10)上且耳件中存在着多个 孔(12)以使冷却剂流入或流出。 5.如申请专利范围第2项之背板,其中该框(6)中存在 着至少二个开口朝向反侧的袋口(10),其由该密封 扁环(9)所覆盖,其中在密封扁环(9)中存在着多个位 于袋口上之孔(12)以使冷却剂流入或流出。 6.如申请专利范围第5项之背板,其中各袋口(10)形 成在该框(8)之未分段的部份中且该密封扁环(9)具 有耳件(11),其位于袋口(10)上且耳件中存在着多个 孔(12)以使冷却剂流入或流出。 7.如申请专利范围第1至6项中任一项之背板,其中 各背板(2,3,4)具有长方形的形式且背板之前侧在一 边缘区上经由整个宽度相对于其主要部份以凹入 方式而形成。 8.如申请专利范围第7项之背板,其中在已凹入之区 域的边缘上设定一种U形的填充片(17),其厚度等于 该凹入区的高度。 9.一种由申请专利范围第1至8项中任一项所述之背 板所构成的溅镀靶,其特征为:各背板能以其正侧 相邻地固定在承载板(20)之承载条上,其中各背板(2 ,3,4)之相邻的正侧设有相对应的区段(18,18')。 10.一种设定在承载板上的背板(2,3,4),该承载板(20) 具有多个与冷却剂入口和出口相对准的冷却剂钻 孔(21),且冷却剂钻孔(21)和冷却剂入口,出口之间的 接面被密封,其特征为:每一密封件是由径向相隔 开的密封环(22,23)所构成,各密封环之间形成一种 环区(24),其经由通风孔(25)而与承载板(20)之与背板 (2,3,4)相远离之此侧相连接。 11.如申请专利范围第10项之设定在承载板上的背 板,其中各密封环(22,23)配置在该承载板(20)之面向 各背板(2,3,4)之此侧上。 图式简单说明: 第1图 对多个背板所形成的整体之反侧观看时之 透视爆炸图。 第2图 背板之终端区中之横切面。 第3图 二个背板之相邻接之正面上之横切面。 第4图 对多个背板所形成的整体之前侧观看时之 透视图。 第5图 冷却剂终端之横切面。 |
