| 发明名称 |
SPUTTERED AMORPHOUS SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU532889(B2) |
申请公布日期 |
1983.10.20 |
| 申请号 |
AU19800065895 |
申请日期 |
1980.12.30 |
| 申请人 |
EXXON RESEARCH AND ENGINEERING CO. |
发明人 |
THEODORE DEMETRI MOUSTAKAS |
| 分类号 |
C01B33/04;C23C14/00;C23C14/14;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):01L21/02;01L21/203;01L31/18 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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