发明名称 ELECTRIC POWER SOURCE FOR HEATING OF POLLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR ROD
摘要
申请公布号 JPS58146435(A) 申请公布日期 1983.09.01
申请号 JP19820029332 申请日期 1982.02.24
申请人 OOSAKA CHITANIUMU SEIZOU KK 发明人 OKAMI SEIICHI
分类号 H01L21/205;B01J19/00;G05F1/14;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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