| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS58112325(A) |
申请公布日期 |
1983.07.04 |
| 申请号 |
JP19810214689 |
申请日期 |
1981.12.25 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
UEDA TOMOSHI;TAKIGAWA HIROSHI;YOSHIKAWA MITSUO;ITOU MICHIHARU;HAMASHIMA SHIGEKI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/208;H01L21/465;H01L31/0264 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
