发明名称 Rotatable charged particle beam deflector
摘要
申请公布号 US3230409(A) 申请公布日期 1966.01.18
申请号 US19620164120 申请日期 1962.01.03
申请人 HIGH VOLTAGE ENGINEERING CORPORATION 发明人 FARRELL SHERMAN R.
分类号 G21K1/093;H01J35/14;H01J35/18;H05H5/02 主分类号 G21K1/093
代理机构 代理人
主权项
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