| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines metallischen duennen Gitters fuer elektronische Festkoerperbauelemente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1246898(B) |
申请公布日期 |
1967.08.10 |
| 申请号 |
DE1963J023809 |
申请日期 |
1963.06.01 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
THUN RUDOLF EDUAR;WAJDA EDWARD STANLEY |
| 分类号 |
C23C14/04;H01J19/30;H01L21/00;H01L23/482;H01L27/00;(IPC1-7):01L11/14 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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