| 发明名称 |
IMPROVED BLOCKING SEAL AND METHOD FOR SPUTTER- COAT LAYER THICKNESS OUTLINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5896873(A) |
申请公布日期 |
1983.06.09 |
| 申请号 |
JP19820202255 |
申请日期 |
1982.11.19 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC |
发明人 |
DEBITSUDO JIEEMUSU HARA;FUREDERITSUKU TOOMASU TAANAA;MAACHIN ARUBAATO HATSUCHINSON |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/04;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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