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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5826665(B2) 申请公布日期 1983.06.04
申请号 JP19770124475 申请日期 1977.10.19
申请人 SHINKAWA KK 发明人 HASEGAWA TAKESHI;YAMAZAKI NOBUHITO
分类号 H01L21/607;H01L21/60 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人
主权项
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