发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM TRANSISTOR MATRIX |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62299885(A) |
申请公布日期 |
1987.12.26 |
申请号 |
JP19860143736 |
申请日期 |
1986.06.18 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YANAI KENICHI;OKI KENICHI;KAWAI SATORU;NASU YASUHIRO;OURA MICHIYA |
分类号 |
G09F9/30;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;G03F1/00;G03F1/68;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G09F9/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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