发明名称
摘要
申请公布号 JPS5824942(B2) 申请公布日期 1983.05.24
申请号 JP19760017643 申请日期 1976.02.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO MASAHARU;HAYASHI TAKESHI
分类号 H01L21/66;H01L21/265 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址