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发明名称 OBERFLAECHENPROFIL-INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 DE3240234(A1) 申请公布日期 1983.05.11
申请号 DE19823240234 申请日期 1982.10.29
申请人 DOWNS,MICHAEL JOHN 发明人 JOHN DOWNS,MICHAEL
分类号 H05K3/00;G01B9/02;G01B11/02;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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