| 摘要 |
L'INVENTION CONCERNE UN TRANSDUCTEUR DE PRESSION CAPACITIF AU SILICIUM LIE PAR VOIE ELECTROSTATIQUE.CE TRANSDUCTEUR 10 COMPREND DEUX PIECES DE SILICIUM 11, 14 DONT AU MOINS UNE EST FACONNEE DE FACON A DEFINIR UNE SURFACE CONDUCTIVE DISTINCTE SUR UNE DE CES PIECES 11, 14 A PROXIMITE D'UNE SURFACE CONDUCTIVE DISPOSEE SUR L'AUTRE PIECE. UNE COUCHE MINCE DE VERRE DE BOROSILICATE 16, 17 EST APPLIQUEE SUR UNE DES SURFACES PRECITEES.L'INVENTION EST UTILISEE POUR EVITER L'AMORCAGE D'ARC DANS UN TRANSDUCTEUR DE PRESSION CAPACITIF. |
