| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR UEBERTRAGUNG EINES MUSTERS AUF EINE HALBLEITERSCHEIBE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT2980(T) |
申请公布日期 |
1983.04.15 |
| 申请号 |
AT19790103567T |
申请日期 |
1979.09.21 |
| 申请人 |
CENSOR PATENT- UND VERSUCHS-ANSTALT |
发明人 |
LOEBACH, ERNST, DR. |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/09;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/20;G03F7/02;H01L21/31;H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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