| 发明名称 |
INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3235409(A1) |
申请公布日期 |
1983.04.14 |
| 申请号 |
DE19823235409 |
申请日期 |
1982.09.24 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
OGURA,SETSUO;KONDO,SHIZUO;FURIHATA,MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/8226;H01L21/331;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73;H03K19/018;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/8226 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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