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发明名称 ETCHING SOLUTION FOR SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS5855324(A) 申请公布日期 1983.04.01
申请号 JP19810152687 申请日期 1981.09.26
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK;HIROTA KAGAKU KOGYO KK 发明人 NAKAMURA HATSUO;MIYAGAWA MASAFUMI;YONEZAWA TOSHIO;HIROTA YOSHIYUKI;SHIMIZU KUNIO
分类号 C09K13/08;C01B33/00;H01L21/302;H01L21/308 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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