| 发明名称 |
DISPOSITIF DE CORRECTION D'ASTIGMATISME DANS UN SYSTEME D'OPTIQUE ELECTRONIQUE |
| 摘要 |
<P>LE PROCEDE DE L'INVENTION PERMET DE CORRIGER L'ASTIGMATISME D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES DANS UN SYSTEME PERMETTANT LA PROJECTION DE CE FAISCEAU SUR UN PLAN CIBLE EN POSITIONNANT DEUX STIGMATEURS. L'UN 12 EST POSITIONNE PRES DE L'OBJET, L'AUTRE 13 PRES DE L'OBJECTIF 16.</P><P>APPLICATION AUX DISPOSITIFS DE FABRICATION DE CIRCUITS SEMI-CONDUCTEURS.</P>
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| 申请公布号 |
FR2513398(A1) |
申请公布日期 |
1983.03.25 |
| 申请号 |
FR19810017847 |
申请日期 |
1981.09.22 |
| 申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
EMMANUEL DE CHAMBOST ET MICHEL SONRIER;SONRIER MICHEL |
| 分类号 |
G02B27/00;H01J37/153;(IPC1-7):02B27/40;01L21/70;01L21/02 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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