发明名称
摘要
申请公布号 JPS5814750(B2) 申请公布日期 1983.03.22
申请号 JP19780040118 申请日期 1978.04.05
申请人 CHO ERU ESU AI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 MOCHIZUKI TOORU;TAKEUCHI YUKIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/306;H01L21/339;H01L23/52;H01L29/762 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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