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发明名称 POSITIVE TYPE ELECTRON BEAM RESIST
摘要
申请公布号 JPS5842041(A) 申请公布日期 1983.03.11
申请号 JP19820101481 申请日期 1982.06.15
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 JIEEMUZU EKONOMII;ROI JIYON GURITSUTAA;HIROYUKI HIRAOKA
分类号 G03C1/72;C08G8/00;G03F7/039 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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