发明名称
摘要
申请公布号 JPS584588(B2) 申请公布日期 1983.01.27
申请号 JP19770078744 申请日期 1977.06.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATANO KOJI;TOMIOKA TATSUYUKI;IMAMURA MITSUO
分类号 B05C11/08;B05C9/02;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
地址