Method and apparatus for measuring gas.

摘要

Bei einem Verfahren bzw. einer Vorrichtung zur Gasmessung wird ein Halbleitersensorelement eingesetzt. Die Temperatur des Halbleitersensorelements wird gemessen; sein Leitwert bzw. Widerstand ist durch das Meßgas beeinflußbar. Um bei einem derartigen Verfahren bzw. bei einer solchen Vorrichtung bessere und genauere Meßergebnisse zu erzielen, werden die Temperatur und/oder der Leitwert bzw. Widerstand und/oder die Bedeckung mit Meßgas des Halbleitersensorelements durch Eingriffe beeinflußt und/oder als Meßgröße erfaßt.