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发明名称
Edge barrier of polysilicon and metal for integrated circuit chips
摘要
An aluminum over silicon barrier extends over the lateral edges of an integrated circuit chip into adjacent scribe lines forming an edge barrier.
申请公布号
US4364078(A)
申请公布日期
1982.12.14
申请号
US19800150439
申请日期
1980.05.16
申请人
SYNERTEK
发明人
SMITH, PAUL W.;FREEMAN, JAMES J.;FORSYTHE, DONALD D.;SHYAM, MEGHA;YAGURA, KENNETH K.;WETLESEN, GUNNAR
分类号
H01L21/304;H01L23/58;(IPC1-7):H01L29/34
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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