发明名称 Edge barrier of polysilicon and metal for integrated circuit chips
摘要 An aluminum over silicon barrier extends over the lateral edges of an integrated circuit chip into adjacent scribe lines forming an edge barrier.
申请公布号 US4364078(A) 申请公布日期 1982.12.14
申请号 US19800150439 申请日期 1980.05.16
申请人 SYNERTEK 发明人 SMITH, PAUL W.;FREEMAN, JAMES J.;FORSYTHE, DONALD D.;SHYAM, MEGHA;YAGURA, KENNETH K.;WETLESEN, GUNNAR
分类号 H01L21/304;H01L23/58;(IPC1-7):H01L29/34 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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