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发明名称 PLASMA WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57203781(A) 申请公布日期 1982.12.14
申请号 JP19810089119 申请日期 1981.06.10
申请人 NIPPON DENSHI KK 发明人 TOKI KAZUYUKI
分类号 C23F4/00;B23K9/00;B23K10/00;C23C14/22;C23C14/35;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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