发明名称 APPARATUS FOR TREATING SURFACE WITH GAS DECOMPOSED BY LIGHT
摘要
申请公布号 JPS57200569(A) 申请公布日期 1982.12.08
申请号 JP19810086587 申请日期 1981.06.05
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KUROKI YUKINORI
分类号 C23F4/00;C23F1/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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