六氟化硫回收系统及回收六氟化硫之方法

摘要

本发明系关于一种用于自一制程(诸如半导体处理方法)之废气中回收六氟化硫(SF6)之系统及方法。特别而言,本发明提供一种简化之系统及方法,可将额外SF6用作该系统帮浦之吹扫气体且允许相对容易地自其他废气组分中分离SF6。