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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5749134(B2) 申请公布日期 1982.10.20
申请号 JP19750046108 申请日期 1975.04.16
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/10 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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