| 摘要 |
低純度の金属シリコンから金属不純物及びボロン及びリンを効率的に除去でき、且つ連続的な処理が可能で、コンパクトな装置構成の金属シリコンの純度を高める装置を提供する。金属不純物除去部（１１ａ）と、ボロン及びリン除去部（１１ｂ）と、不純物通過部（１１ｃ）を備えた耐火材からなるトレー（１１）と、トレーの上側に配置したシリコンを溶融可能なヒーター（１３）と、トレーの金属不純物除去部の下側に配置した水冷配管（１４ａ）及び電磁石（１５）と、トレーのボロン及びリン除去部の下側に配置した水冷配管（１４ｂ）と、トレーのボロン及びリン除去部に配置した高電圧放電用電極（１６）を備え、金属シリコン溶湯から金属不純物及びボロン及びリンを除去する。 |
