发明名称 CASSETTE FOR SEMICONDUCTOR BASE TREATMENT
摘要
申请公布号 SU957321(A1) 申请公布日期 1982.09.07
申请号 SU19803211470 申请日期 1980.12.03
申请人 BELOUSOV VIKTOR S,SU;BURMISTROV ANDREJ N,SU 发明人 BELOUSOV VIKTOR S,SU;BURMISTROV ANDREJ N,SU
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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