发明名称 ILLUMINATION SYSTEM FOR SEMICONDUCTIVE WAFERS
摘要
申请公布号 EP0032716(A3) 申请公布日期 1982.09.01
申请号 EP19810100206 申请日期 1981.01.14
申请人 OPTIMETRIX CORPORATION 发明人 PHILLIPS, EDWARD H.
分类号 H01L21/30;G02B19/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B19/00;G03B41/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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