发明名称 HALTERUNGSVORRICHTUNG FUER SUBSTRATPLAETTCHEN.
摘要
申请公布号 CH631638(A5) 申请公布日期 1982.08.31
申请号 CH19780002375 申请日期 1978.03.06
申请人 BALZERS AG 发明人 BERNHARD BRACHER
分类号 C23C14/50;H01L21/673;(IPC1-7):B01L9/00;H01L21/20;H01L21/28;C23C13/08 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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