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经营范围
发明名称
HALTERUNGSVORRICHTUNG FUER SUBSTRATPLAETTCHEN.
摘要
申请公布号
CH631638(A5)
申请公布日期
1982.08.31
申请号
CH19780002375
申请日期
1978.03.06
申请人
BALZERS AG
发明人
BERNHARD BRACHER
分类号
C23C14/50;H01L21/673;(IPC1-7):B01L9/00;H01L21/20;H01L21/28;C23C13/08
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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