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<p>Element sensible a l'humidite se composant d'un substrat isolant (1), d'une paire d'electrodes (2, 3) disposees sur le substrat, et materiau sensible a l'humidite (8) recouvrant les electrodes. La resistance du materiau sensible a l'humidite (8) depend de la teneur en humidite de l'atmosphere, et il est fait de corpuscules ayant chacun un noyau hydrophobe et une couche superficielle recouvrant le noyau qui contient des radicaux ioniques ou hydrophiles. Dans cet element sensible a l'humidite, la relation entre le logarithme de sa resistance electrique et l'humidite relative est presque lineaire et presente un hysteresis faible, de sorte que l'humidite relative peut etre mesuree exactement. Le substrat isolant (1) et les electrodes (2, 3) sont faits de preference avec une couche isolante formee sur un semi-conducteur de silicium et du polysilicium conducteur forme par dessus, respectivement, de maniere a pouvoir le miniaturiser.</p> |
