Method of making a capacitance humidity sensor with a thin dielectric.

摘要

La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'un hygromètre capacitif ainsi qu'un hygromètre obtenu par ce procédé Sur une couche conductrice formant la première électrode (3), on dépose une couche (6) d'un matériau dont la constante diélectrique varie en fonction de la quantité d'eau absorbée, puis, sur cette couche de matériau diélectrique une couche d'épaisseur supérieure à 200 Å d'un métal peu oxydable formant la deuxième électrode (9) que l'on rend perméable à l'eau par un traitement thermique à une température voisine de la température de ramollissement du diélectrique (6). Application à la mesure du degré hygrométrique de l'air.