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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS57114666(A) 申请公布日期 1982.07.16
申请号 JP19810000483 申请日期 1981.01.07
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 TAKEUCHI YUKIO;SHIBAGAKI MASAHIRO
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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