| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING A THIN LAYER WITH ORIENTATED STRUCTURE, DEVICE FOR IMPLEMENTING SUCH METHOD AND PRODUCTS OBTAINED THEREBY. |
| 摘要 |
<p>Dans ce procede, on applique a la couche en cours de depot et/ou de refroidissement un champ magnetique et/ou electrique, par exemple au moyen de pieces polaires (82). Le dispositif comporte en outre des moyens de depot de la couche mince (80), des moyens de depots et de traitement complementaires (73, 83 et 84) permettant notamment la fabrication de photopiles.</p> |
| 申请公布号 |
EP0053150(A1) |
申请公布日期 |
1982.06.09 |
| 申请号 |
EP19810901530 |
申请日期 |
1981.06.09 |
| 申请人 |
ESTABLISHMENT FOR SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
ROCHE, MARIE |
| 分类号 |
C23C2/26;C23C14/18;C23C14/22;C23C14/58;C23C16/453;C23C16/56;H01L31/18;(IPC1-7):23C11/00;23C13/00;23C15/00;01L31/02;01L31/18 |
主分类号 |
C23C2/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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