发明名称 SEMICONDUCTOR FABRICATION UTILIZING LASER RADIATION.
摘要 Procede simplifiant considerablement la production de certains types de dispositifs a semi-conducteurs, p.ex. des lasers. Dans un mode de realisation, une geometrie en bande est fabriquee dans une structure laser-diode ayant une pluralite de couches epitaxiales, comprenant en tandem une couche de semi-conducteur a dopage p (4), une couche de semi-conducteur a dopage modere n (5) et une couche fortement dopee p+ (6), en focalisant la radiation laser sur la couche a semi-conducteur de dopage n (5). La radiation laser est choisie avec une longueur d'onde passant au travers de la couche a dopage p + (6) sans absorption. Lorsque la radiation laser est absorbee dans la couche a dopage n, la chaleur produite diffuse le dopant p depuis les deux couches adjacentes pour convertir la region exposee en type p. Au fur et a mesure que s'effectue le balayage du rayon laser, il se forme une bande ayant une jonction avant pn pour une action laser.
申请公布号 EP0051669(A1) 申请公布日期 1982.05.19
申请号 EP19810901458 申请日期 1981.05.11
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 TIEN, PING KING
分类号 H01L21/225;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/268;H01L29/205;H01S5/00;(IPC1-7):01S3/00;23K9/00;01L21/265;01S3/19 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
地址